第一千三百零四章 验货（2 / 2）

机。

整个检查过程非常繁琐，阿斯麦的这台光刻机型号是PAS-2500，虽然远没有后世那么复杂，但也有大大小小11000多个零部件，分为三个部分，曝光台和测量台以及拥有两个显示器的操作台。

就凭吴刚三人完全检查每一个零部件是根本不现实的事情，毕竟时间有限，而且这台机器和东芝那边用的光刻机构造上也有所不同，所以只能检查一些零部件的是否存在划伤和破损的情况，等运到国内之后，关键在于阿斯麦工程师的安装和调试……