纯度多晶硅。
在他的领导下，水木大学半导体教研组在60年代，就完成了多晶硅提纯、平面硅晶体管研制等工作。
进入80年代之后，水木大学成立微电子研究所，由李院士担任主抓科研的副所长。
在此期间，他带领微电子所的同事，建成了国内第一条1微米集成电路研制线和一个超净车间，攻克了重重难关，终于使我国的微电子技术跨上了1微米台阶。cascoo.net
所以，对这位头发花白的老人，牧乔是打心眼里十分敬重的。
“这儿人多，到楼上我的办公室去说吧。”
牧乔已经隐约猜出他要问的问题，向陈安妮等人说了一声之后，便跟在李院士身后向楼上走去。
刚跨上楼梯，徐端逸气喘吁吁地追上来叫住了牧乔。
“小牧，我想请教你一个问题。”
牧乔还没开口，李坚强就笑了起来：“你是想问光刻机光源的第二个解决方案吧？”
“对啊！”徐端逸重重地点头，“咱们研究了这么多年，一个法子都没想出来，他可倒好，一来就是两个方案！”
“到我办公室说吧，我也正好奇呢，不搞清楚这个问题，今天恐怕连觉都睡不着！”
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