被腐蚀掉后形成电路,再用纯水洗净残留在晶圆表面的杂质。
紧接着就是关键所在!
曝光!
就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备,一片晶圆可以制作数十个集成电路。
开启电源,苏陌把第四芯片放到曝光系统中,便操控起光源开始曝光。
通过玻璃,苏陌清楚的看见紫外光,被椭球面反光杯聚焦后,经冷光镜反射到复眼透镜阵列场镜。
再从投影镜出射的光到达二向色镜,光谱中的紫外部分被50%透射,50%反射后,到达两块对称分布的大面积球面平行反光镜,被准直反射到晒板上对第四芯片上进行曝光。
整个过程相当快,只用了三分钟不到,曝光就已经完成了!
看到这一幕,苏陌不由得感叹道:“有钱真好!”
他之前一直失败,就是卡在了曝光这里,换了一台光刻机以后,一次成功!
不得不说,金钱的力量还是很强大啊!
关闭电源,苏陌小心翼翼的取下曝光机中的第四芯片,认真的观察了起来。
经过几遍的检查以后,苏陌脸上出现了振奋之色。
“终于曝光成功了!”
一边的颜九汐闻言走了过来,小声问道:“小陌,第四芯片做好了?”
“只能说,成功了一半。”
苏陌笑着解释道:“接下来才是真正的重头戏!”
“什么重头戏?”颜九汐好奇道。
“对于光刻机来说,重头戏自然是光刻工艺啊!”
说到这里,苏陌神秘一笑,“丫头,等会哥给你看一个图案!”
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