技术方向,推出了193纳米的光源浸没式系统。
在光学镜头和硅晶圆片导入液体作为介质,在原有光源与镜头的条件下,能显著提升蚀刻精度,并成为高端科技的主流技术方案。
而尼康与佳能却主推157纳米光源的干式光刻,这个路线后来被市场所淘汰,也成为尼康跟佳能迈入衰退的一个转折点,然后就有了阿斯麦的垄断。
而周安东的机会,就在九七年的金融风暴。那时候日本大量企业倒闭,员工失业。
据他所知,在那次金融风暴中,日本流失了大量的科研人员,以及高精尖技术资料。
这些人和资料,大部分都流入了韩国。当时,韩国间谍在日本的活动,是最猖獗的。
等日本反应过来,损失已经无法挽回,只能喊两句口号,抗议抗议,硬生生咽下了这个哑巴亏。
所以,周安东要做的,就是在韩国人嘴里抢食吃。至于能抢多少,他也没有把握,但只要能抢来一部分,光刻机就有希望。
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