太美,杨青根本就不敢想象。
其实从一百三十纳米,一直到14纳米左右,使用的光刻机都是浸润式DUV光刻机,都是使用深紫外193纳米准分子激光光源,也就是说这条线,有着改进到14纳米的潜力。
不过真的要改进到14纳米,不仅光刻机得大改,就连生产线都要重新设置。
尽管暂时杨青也没有心情,也没有动力,进行这么大的改进,不过光是光刻机的操作系统,由小嫒全权接管,就已经使得生产线的工作效率和光刻精度提升了几倍不止。
因为小嫒的资料,来自的都是那些代工大厂,7纳米,甚至5纳米的量产经验,早已经超越了这台老爷机不知道多少年。