“你小子,跟老师说话还这么不着调,小心我期末挂你的科。”周万达是一个好奇心很重的人,现在他询问的问题,没有得到答案,让他百爪挠心一般的难受,忍不住出言威胁了一句。周万达本就是北大集成电路专业的教授,这一学期负责教授乔瑞达他们班的一门专业课。乔瑞达又经常旷课,点名经常不在,如果专业老师以此为理由,让他挂科,谁也挑不出毛病。
听到来自周万达的威胁,乔瑞达立马服软,“别呀,周老师,周教授,你如此宽洪大量的人,怎么能跟我一般见识,让我挂科呢。周老师,你不就是想知道后面那辆车上拉的是什么吗,我这就告诉你,那辆车上拉的是一台euv光刻机。由于设备太过精密,震动,或者温湿度剧烈变化,都有可能影响它的加工精度,这才在车辆上加装了防震措施,又在集装箱上装了空调,以保障内部环境恒温恒湿度。”
“什么,我没听错吧,你竟然搞来了一台euv光刻机!这怎么可能呢,连国际光刻机巨头阿斯麦都只有测试样机,没有量产上市的东西,你小子又是怎么搞来的?”乔瑞达说出来的信息太过于震撼,引的坐在后座的周万达惊呼不已,当教授,做科研培养出来的沉稳气质,荡然无存。
“嘿嘿嘿,对不住了周老师,这个euv光刻机的来源就真的不能对外说,否则将供货渠道暴露出来,下次就再也拿不到货了。你也是搞芯片的,应该清楚,这些高端光刻机,对咱们华夏大陆都是禁运的。”其实这台euv光刻机是乔瑞达通过金手指复制出来的,来源本就见不得光,这会儿被周万达问起来,只能编出一个神秘的供货商来,应付一二了。
“原来是这样,要说你小子也真是厉害,还在测试阶段的新设备,都能搞出来。渠道的事儿,我就不问了,你看能不能通过你的关系,给北大芯片实验室也搞一台euv光刻机,要多少钱你随便开。”周万达搓搓手,一脸期待的看向正在开车的乔瑞达。
作为一名芯片制程工艺研究员,周万达太清楚euv光刻机的威力了。当前市面上主流的浸润式duv光刻机,常规加工精度是28nm。即使使用套刻、多次曝光等工艺,duv光刻机的加工精度最多提升到7nm,而且会存在步骤繁琐、加工难度大、良品率低等诸多的缺点。如果有了euv光刻机,那就完全不同了,euv由于采用了极紫外光对硅晶圆进行加工,可以把加工精度做到很小,起步就是7nm,具有加工速度快、良品率高、等优点,生产出来的芯片,性能强大,发热低。后续采用一些其他工艺,还能加工出5nm、3nm,甚至2nm的芯片,绝对是未来芯片加工的发展方向。
“咦,周老师,你又没见到euv光刻机的实物,也没进行过任何测试,为何会如此看好这台光刻机,不惜重金也要买一台?”这个型号的euv光刻机的性能,乔瑞达在次元空间内做过测试,这才知道它的厉害。周万达又没做过测试,甚至连这台euv光刻机的样子都没见过,就如此果断的要花钱求购,当真奇怪。