“配合这套光刻机设备的掩膜版国内已经制作了出来,我们在实验生产线进行了65纳米光刻工艺技术验证测试和小批量的试制,从拿到的各项数据来说都是表现很好。”
周晓东笑着说道。
玄思科技集团公司旗下的晶圆实验生产线进行的技术研发工作自然要比规模量产的制程工艺技术要提前非常多,技术团队不断地挑战制程工艺技术和设备的极限。
“好好好!”
韩光照此时听到玄思科技集团公司内部在65纳米这种光刻工艺技术上进展顺利,心中更是大喜。
“来之前我听说欧洲阿斯麦尔和米国方面联合研制出了双工件台的光刻机设备,也用上了这种浸没头装置,你们压力大不大呀?”
韩光照此时看了看周晓东和谭小松等人,开口问道。