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化氩光源系统,你们现在在这种汞灯光源系统上如此下功夫,不怕技术落后,投入进去的钱收不回来?”
周晓东开口说道:“领*导,这种光源系统用到的一些通用技术同样是用到其他光源系统上面的,另外我们在光刻机设备上采用了新设计和新技术,采用这种光源系统的光刻机设备可以使用让我们的制程工艺最大程度能做到一百纳米的样子,足够让我们国内的晶圆生产线工艺技术继续向前提升个两三代,可以给我们国内更先进的光刻机设备换来六七年的研发时间。”
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