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第630章 造不如买(2 / 3)

白了,就如曲慧所的那样,源自华罗庚老先生的统筹方法就是在等待烧开水的过程中就把茶杯洗干净,茶叶拿出来丢进杯子里,顺便还拧着暖水壶在一旁等着,只要水开,马上就能泡茶,装水,一气呵成。比等水开了再去找茶叶洗茶杯要节约很多时间。

但真要实现起来却不简单,毕竟这是两个工件台的协同配合,而且要保持高速运动下的0.5微米的运动精度其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上,其中一架飞机伸出一根杆子,在对面的机身上刻0.5微米大小的字。

至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧保持冷静乃至忧虑……苏远山完全能够理解。

因为曲慧刚出校门就进入了远芯,亲自参加了eda的诞生,又亲眼见证了远芯在各个领域的崛起。

白了,就是曲慧所参与,所看到的,全是世界顶级的技术成果。

双工件台虽然出来了,却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。

她不甘心。

“这样,曲慧姐,我给你指一条方向。”苏远山不知道双工件台技术接下来要具体往哪一边走,但苏远山却知道双工件台的未来在何方。

“嗯?你什么方向。”

“目前工件台的最大难点还是在于高速运动下所导致的一系列麻烦,所以……如果要把目光瞄准到十年,二十年之后,瞄准到纳米级精度的话,我认为,只有一条路,就是磁悬浮。”

“磁悬浮?”曲慧闻言一怔,直愣愣地望着苏远山。

郑振川也惊讶起来:“小山,磁悬浮能用在工件台上?”

“不是磁悬浮能用在工件台上,而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏,实现超精密运动控制,在现有的自然科和机械空城的框架下,就只有磁悬浮这一条路。”

曲慧沉默数秒后慢慢点头,喃喃道:“是了,磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势,避开短板。”

“可是,那个难度怕是有点大吧?现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案?”郑振川则想了想,迟疑地问道。

“不知道,但管他呢!”曲慧吸了口气,整个人瞬间振奋了起来,望向苏远山道:“小山,你真觉得那是个方向?”

“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重点头。

有了新方向的曲慧再无心交谈,转而去苏远山的书架翻了一本物理书来看。

见曲慧这模样,苏远山也在心里暗暗发笑曲慧别看已经三十岁了,可长期以来身处科研一线,身份身家都无与伦比,以至于心态还是小姑娘心态。

“郑叔,怎么?”苏远山起身给郑振川斟满茶水,笑呵呵地问道:“你别告诉,你是来推销光刻机的。”

“嗯,还真是。”郑振川从刚才苏远山口中的磁悬浮工件台的设想中回过神来,笑着道:“我们拿到了蔡司的镜头和cymer的krf光源,接下来就能量产最低0.18微米工艺节点的光刻机了。”

“我靠!”

苏远山眼珠子一瞪,差点没从沙发上弹起来:“怎么拿到的?”

“呵呵,别激动。”郑振川好整以暇地抿了一口茶:“怎么样,要不要来两台?”

“等等!”苏远山马上便清醒过来:“别拿空头支票来忽悠我,先清楚,什么时候可以可以出厂。”

“最多半年。”

听到这个半年,苏远山又默默地算了一下自家光源的时间,这才慢慢平静下来,笑着骂了一句:“nnd,帝国主义亡我之心不死。”

“是啊……但这样好歹能把咱们的光刻机与尼康佳能的距离缩到只有一代了,对吧?”

“嗯,这倒是。”

苏远山含笑望着郑振川,突然越看越觉得这老头有点像“买办”了。

很显然,在这个时候,蔡司和cymer突然对国产光刻机放行,除了有霓国同行的竞争之外,还有就是有把国内的光源和镜头技术“扼杀”在摇篮的想法。

要知道,他们给的光源和镜头,可不是最先进的……

cymer都已经搞出193的arf了,正在想搞euv或者f2呢。

“不过郑叔,我们已经预定了尼康最先进的duv光刻机,他们的节点可是能够到65纳米。”苏远山一耸肩,呵呵笑道:“差不多半年。”

“……”郑振川便带着一脸哀怨地看着苏远山:“当初你好要支持的呢?”

“我当然一直都是支持的,但这事儿我做不了主啊郑叔。你不应该找我,而是应该去找德远的张博士。”

着苏远山便疑惑起来:“不对,郑叔……无锡那么多晶圆厂,为什么你不去找他们?”

远芯在光刻机,晶圆厂的战略方向一直很明确,就是以保持制程和工艺的领先换言之就是设备上不能落后。

光刻机自然要支持,甚至还要大力支持。但钱可以出,在有选择的情况下,买一堆落后的产品,这事儿却是不能干的。

国家也认同远芯的发展,因此从来把希望寄托在远芯身上,继而让华晶,华鑫,首晶等新老国有控股的晶圆厂大力采购国产光刻机,用以扶持。

所以郑振川找苏远山,

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